| UTM-MSシリーズ | |||||
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| 型式 | UTM300A-MS | UTM400A-MS | UTM800A-MS | UTM1000A-MS | |
| 排気速度(L/min) * | N₂:19,200 He:20,400 H₂:19,200 |
N₂:25,200 He:21,600 H₂:20,400 |
N₂:48,000 He:48,000 H₂:42,000 |
N₂:64,800 He:55,800 H₂:47,400 |
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| 到達圧力(Pa) | 10⁻⁷ | 10⁻⁸ | |||
| 最大寸法 | 別途確認 | ||||
| 質量(kg) | 14.0 | 33.0 | 32.0 | ||
* 保護ネットなしの場合の場合の値です。
| UTM-MIシリーズ | |||||
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| 型式 | UTM1200A | UTM1600A | UTM2300A | UTM3400A | |
| 排気速度(L/min) * | N₂:61,800 Ar:58,800 H₂:39,600 |
N₂:84,000 Ar:79,800 H₂:45,000 |
N₂:126,000 Ar:120,000 H₂:82,800 | N₂:192,000 Ar:186,000 H₂:126,000 | |
| 到達圧力(Pa) | 10⁻⁷ | ||||
| 最大寸法 | 別途確認 | ||||
| 質量(kg) | 43.0 | 41.0 | 56.0 | 94.0 | |
* 保護ネットなしの場合の値です。UTM2300AとUTM3400Aは計算値です。
| UTM-Bシリーズ | |||||
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| 型式 | UTM70B | UTM300B | |||
| 冷却方式 | 自然空冷 | 強制空冷 | 自然空冷 | 強制空冷 | |
| 排気速度(L/min) (保護ネットなし時) |
N₂:4,200 He:3,600 H₂:2,940 |
N₂:16,800 He:16,200 H₂:13,200 |
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| 到達圧力 * | ベーキング後:- ベーキング前:10⁻⁶ Pa |
ベーキング後:10⁻⁸ Pa ベーキング前:10⁻⁶ Pa |
ベーキング後:- ベーキング前:10⁻⁶ Pa |
ベーキング後:10⁻⁸ Pa ベーキング前:10⁻⁶ Pa |
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| 最大寸法 | 別途確認 | ||||
| 質量 | 最大5.0 kg ※吸気口フランジによる |
9.0 kg | 9.3 kg | ||
* 到達圧力は、2段式補助ポンプ使用時の数値です。
ベーキングはICFフランジの強制空冷使用時のみ実施可能です。
※このテーブルは横にスクロールできます。