スパッタイオンポンプ

排気対象ガスの種類によって、型式と仕様が異なります。

 

PSTシリーズ（排気対象ガス：活性ガス）①
型式 PST-030CU PST-050CU PST-100CX
再生排気速度
(L/min：50/60 Hz) *
※N₂ガス測定時		 1,800 2,700 6,000
到達圧力(Pa) 10⁻⁹
最大寸法(W×D×H/mm) 103×183×187 153×204×241 155×336×340
質量(kg) 9.5 12.0 37.0
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※同業・競業他社様につきましては、カタログ請求をご遠慮いただくようお願いいたします。

 

* GST-07Lコントローラ使用時

PSTシリーズ（排気対象ガス：活性ガス）②
型式 PST-110AU PST-200CXII PST-400CXII
再生排気速度
(L/min：50/60 Hz) *
※N₂ガス測定時		 6,600 12,000 21,600
到達圧力(Pa) 10⁻⁹ 10⁻¹⁰
最大寸法(W×D×H/mm) 171×387×293 296×361×376 296×544×376
質量(kg) 36.5 65.0 124.0
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* GST-07Lコントローラ使用時

PSTシリーズ（排気対象ガス：希ガス）
型式 PST-030AU PST-050AU PST-100AX PST-200AXII PST-400AXII
再生排気速度
(L/min：50/60 Hz) *
※Ar測定時		 780 960 3,000 1,200 11,400
到達圧力(Pa) 10⁻⁹ 10⁻¹⁰
最大寸法(W×D×H/mm) 103×183×187 153×204×241 155×336×340 296×361×376 296×544×376
質量(kg) 9.5 12.0 37.0 65.0 124.0
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* GST-07Lコントローラ使用時

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