Gシリーズ
型式		G-5SA	G-25SA	G-50SA	G-101S
実効排気速度 (L/min：50/60 Hz)		5/6	20/24	50/60	100/120
到達圧力(Pa) *		100	9.3
最大寸法(W×L×H/mm)		130×203×159.5	156×284×199.5	156×341×199.5	234×500.5×264
質量(kg)		4.5	8.5	11.0	22.0

* 到達圧力はピラニ真空計による測定値です。

		G-DAシリーズ
型式		G-5DA	G-10DA	G-20DA	G-50DA	G-101D
実効排気速度 (L/min：50/60 Hz)		5/6	10/12	20/24	50/60	100/120
到達圧力 *		6.7 Pa	1.3 Pa			G.V.閉：0.67 Pa G.V.開：6.7 Pa
最大寸法(W×L×H/mm)		130×203×159.5	130×229.5×165	156×295.5×199.5	156×341×199.5	234×500.5×264
質量(kg)		5.0	5.5	9.0	11.0	23.0

* 到達圧力はピラニ真空計による測定値です。

※G.V.閉（ガスバラスト閉）：ガスバラストが閉じている状態の到達圧力
　G.V.開（ガスバラスト開）：ガスバラストが開放された状態の到達圧力

タイプ		Gvシリーズ		GHDシリーズ
型式		Gv135	Gv200	GHD-031	GHD-101
実効排気速度 (L/min：50/60 Hz)		135/162	200/240	30/36	100/120
到達圧力 *		G.V.閉：5.0×10⁻¹ Pa G.V.開：5.0 Pa		0.67 Pa	G.V.閉：0.67 Pa G.V.開：6.7 Pa
最大寸法(W×L×H/mm)		166×470×241.5	166×490×241.5	120×288.5×163	150×413.5×234.5
質量(kg)		28.0	31.0	9.3	22.0

* 到達圧力はピラニ真空計による測定値です。
マクラウド真空計で測定した場合は、到達圧力が1.3 Pa以下の真空ポンプでは一桁低い値になります。

※G.V.閉（ガスバラスト閉）：ガスバラストが閉じている状態の到達圧力
　G.V.開（ガスバラスト開）：ガスバラストが開放された状態の到達圧力

		GLSシリーズ	GLDシリーズ①
型式		GLS-051	GLD-040	GLD-051	GLD-137AA
実効排気速度 (L/min：50/60 Hz)		50/60	40/48	50/60	135/162
到達圧力 *		9.3 Pa	G.V.閉：0.67 Pa / G.V.開：6.7 Pa
最大寸法(W×L×H/mm)		165.5×361×222.5	150×425.5×240.5	165.5×395×222.5	170×485.5×240
質量(kg)		12.9	16.0	13.9	26.0

* 到達圧力はピラニ真空計による測定値です。
マクラウド真空計で測定した場合は、到達圧力が1.3 Pa以下の真空ポンプでは一桁低い値になります。

※G.V.閉（ガスバラスト閉）：ガスバラストが閉じている状態の到達圧力
　G.V.開（ガスバラスト開）：ガスバラストが開放された状態の到達圧力

		GLDシリーズ②
型式		GLD-137CC	GLD-202AA	GLD-202BB	GLD-280A
実効排気速度 (L/min：50/60 Hz)		135/162	200/240		280/336
到達圧力 *		G.V.閉：0.67 Pa / G.V.開：6.7 Pa
最大寸法(W×L×H/mm)		170×487.5×249.5	170×513.5×240	170×515.5×249.5	181×536×269
質量(kg)		29.0		31.0	34.5

* 到達圧力はピラニ真空計による測定値です。
マクラウド真空計で測定した場合は、到達圧力が1.3 Pa以下の真空ポンプでは一桁低い値になります。

※G.V.閉（ガスバラスト閉）：ガスバラストが閉じている状態の到達圧力
　G.V.開（ガスバラスト開）：ガスバラストが開放された状態の到達圧力

		GCDシリーズ
型式		GCD-051X	GCD-136X	GCD-201X
実効排気速度 (L/min：50/60 Hz)		50/60	135/162	200/240
到達圧力 *		G.V.閉:0.67 Pa / G.V.開:6.7 Pa
最大寸法(W×L×H/mm)		165.5×419×222.7	170×493×241.1	170×509.5×241.1
質量(kg)		14.1	25.4	26.6

* 到達圧力はピラニ真空計による測定値です。
マクラウド真空計で測定した場合は、到達圧力が1.3 Pa以下の真空ポンプでは一桁低い値になります。

※G.V.閉（ガスバラスト閉）：ガスバラストが閉じている状態の到達圧力
　G.V.開（ガスバラスト開）：ガスバラストが開放された状態の到達圧力

		VSシリーズ
型式		VS1501	VS2401	VS300A-W	VS650Bシリーズ
設計排気速度 (L/min：50/60 Hz)		2.500/3,000	4,000/4,800	4,166/5,000	10,000～10,833 /10,000～12,500 (仕様による)
到達圧力		GP 閉:≦5.3 Pa GP 開:≦80 Pa		GP閉:≦15 Pa * GP開:≦200 Pa *	GP 閉:≦8 Pa GP 開:≦70 Pa
最大寸法(W×D×H/mm)		300×941×460	333×1061×460	404×871×585	1490×905×705
質量(kg)		270.0	232.0	271.0	約820.0

* 到達圧力（GP閉）時はスローリークさせています。スローリークバルブを閉じると≦8 Paになります。

※G.V.閉（ガスバラスト閉）：ガスバラストが閉じている状態の到達圧力
　G.V.開（ガスバラスト開）：ガスバラストが開放された状態の到達圧力

		VD Ver.Cシリーズ
型式		VD30C	VD40C	VD60C	VD90C
設計排気速度 (L/min：50/60 Hz)		500/600	670/800	1,000/1,200	1,500/1,800
到達圧力 *		GP 閉:≦0.67 Pa GP 開:≦2.0 Pa
最大寸法(W×D×H/mm)		210×660×324	210×680×324	280×761×371	280×831×371
質量(kg)		58.0	60.0	90.0	113.0

* ピラニ真空計にて測定。（マクラウド真空計では約6.7×10⁻² Pa になります。）

※G.V.閉（ガスバラスト閉）：ガスバラストが閉じている状態の到達圧力
　G.V.開（ガスバラスト開）：ガスバラストが開放された状態の到達圧力

		PVDシリーズ		PKSシリーズ
型式		PVD180	PVD360	PKS-016	PKS-030	PKS-070B
設計排気速度 (L/min：50/60 Hz)		155/186	310/372	1,600/1,600	3,000/3,000	7,000/7,000
到達圧力		GP 閉:≦0.67 Pa *¹ GP 開:≦6.7 Pa *¹		GP 閉:2.7 Pa *² GP 開:400 Pa *²
最大寸法(W×D×H/mm)		265×470×321	303×488×321	587×884×572	721×675×973	971×983×1190
質量(kg)		33.5	43.0	225.0	380.0	900.0

*¹ ピラニ真空計にて測定。（マクラウド真空計では約6.7×10⁻² Pa になります。）

*² ピラニ真空計にて測定。（マクラウド真空計では約2.7×10⁻¹ Pa になります。）

※G.V.閉（ガスバラスト閉）：ガスバラストが閉じている状態の到達圧力
　G.V.開（ガスバラスト開）：ガスバラストが開放された状態の到達圧力