油拡散ポンプ

DPFシリーズ
型式 DPF-050 DPF-200
実効排気速度
(L/min：50/60 Hz)		 3,000/3,000 12,000/12,000
到達圧力(Pa) 1.0×10⁻⁵
最大寸法(W×L×H/mm) 93×141.6×171 145×260.5×285
質量(kg) 1.8 5.0
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ULKシリーズ
型式 ULK-04A ULK-06A ULK-10A ULK-14A
排気速度(L/min) 33,000 30,000 72,000 66,000 204,000 180,000 324,000 294,000
到達圧力(Pa) * <2.6×10⁻⁵ <2.6×10⁻⁶ <2.6×10⁻⁵ <2.6×10⁻⁶ <2.6×10⁻⁵ <2.6×10⁻⁶ <2.6×10⁻⁵ <2.6×10⁻⁶
所要電力（kW） 0.55 0.73 0.9 1.2 2.0 2.4 2.25 2.4
最大寸法 別途確認
質量(kg) 7.5 13.5 47.0 56.0
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* 電離真空計により、冷却水温度20℃の場合の値です。

PBLシリーズ
 
型式 PBL-02 PBL-04 PBL-06 PBL-10 PBL-14 PBL-20
排気速度(L/min) 4,800 12,000 30,000 108,000 240,000 420,000
到達圧力(Pa) * 2.7×10⁻²
最大寸法 別途確認
質量(kg) 6.0 17.0 86.0 198.0 313.0 495.0
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* 電離真空計により、冷却水温度20℃の場合の値です。

PFLシリーズ
 
特長 大型真空装置･高真空生産設備向けのポンプです。
型式 PFL-22 PFL-36 PFL-52
排気速度(L/min) 600,000 2,040,000 4,200,000
到達圧力(Pa) * 3.0×10⁻⁴
最大寸法 別途確認
質量(kg) 290.0 650.0 1400.0
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* 電離真空計により、冷却水温度20℃の場合の値です。

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