多段ルーツ型ドライ真空ポンプ

HRシリーズ
特長 CVD、エッチング向け。
高温領域で均熱化することで、発生する昇華性排気物質を気体の状態で排出することが可能なポンプです。
モデル HR60 HR90 HR300 HR600 HR1200
使用ポンプ（DRP） HR60 HR90 HR60 HR90 HR90
使用ポンプ（MPB） – – PRC-003A PRC-006A PRC-012A
最大排気速度
(L/min：50/60 Hz)		 1,030/1,333 1,860/2,100 5,980/6,080 10,900/11,700 16,900/17,500
到達圧力(Pa) 5.0 0.67
最大寸法 別途確認
質量(kg) 180.0 245.0 275.0 370.0 420.0
GRシリーズ
特長 シンプル・堅牢構造型。一般産業向けに設計。
型式 GR60A GR90A GR180A
最大排気速度
(L/min：50/60 Hz)		 1,860/1,333 1,030/2,100 3,100/3,850
到達圧力(Pa) * 5.0
最大寸法 別途確認
質量(kg) 128.0 188.0 268.0

* 窒素ガス（軸シールガス）が、5.0 SLMの時の値です。

CRシリーズ
 
特長 クリーンな気体排気型。
排気室内には油を使用せず、ロータとシリンダーは非接触で運転されるため長期間安定した運転が可能。
型式 CR16B CR30B CR60B-S CR60B-T CR300B
最大排気速度(L/min) 280 500 920 5,000
到達圧力 ≦3.0 Pa ≦0.5 Pa
最大寸法 別途確認
電源電圧 単相：100V、200V / 3相：200V 単相：200V 3相：200V 3相：200V
質量(kg) 35.0 48.0 100.0
用途 ・エアー、不活性ガスなどのクリーンな気体の真空排気
・真空乾燥などの水蒸気排気（ガスバラスト使用が必要）
・スパッタリング、蒸着などの真空装置
タイプ LRシリーズ
 
特長 PVDプロセス、仕込み取出し室の排気向け。
ポンプ本体を低温領域で均熱化。またスループットを上げるために排気時間短縮が重要な真空排気に最適。
型式 LR60 LR90 LR180 LR421
最大排気速度
(L/min：50/60 Hz)		 1,030/1,333 1,860/2,100 3,100/3,950 7,333/7,333
到達圧力(Pa) 5.0
最大寸法 別途確認
質量(kg) 180.0 245.0 335.0 415.0
RDAシリーズ
 
特長 6段排気方式。ドライで油回転真空ポンプと同等の到達性能。
型式 RDA-281H RDA-501H
実効排気速度(L/min) 280 500
到達圧力 F.A閉時：≦8.0×10⁻² Pa / F.A開時：≦6.0 Pa
最大寸法(W×L×H/mm) 180×520×377
質量(kg) 38.0

※F.A：フラッシュエアー

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