クライオポンプ

CRYOシリーズ①
型式 CRYO-U4H CRYO-U6H CRYO-U8H CRYO-U10H CRYO-U12H
排気速度（20℃）

 

窒素/水素
アルゴン/水

 

(L/min：50/60 Hz) 		27,000/30,000
22,200/66,000		 45,000/66,000
37,200/126,000		 102,000/162,000
84,000/240,000 		144,000/216,000
120,000/414,000 		240,000/360,000
198,000/570,000
到達圧力(Pa) 10⁻⁷
最大寸法 別途確認
質量(kg) 14.5 19.0 20.8 29.0 40.0
CRYOシリーズ②
型式 CRYO-U16 CRYO-U20P CRYO-U22P CRYO-U30H
排気速度（20℃）

 

窒素/水素
アルゴン/水

 

(L/min：50/60 Hz) 		300,000/600,000
252,000/960,000		 600,000/1,080,000
504,000/1,740,000		 690,000/840,000
582,000/2,340,000 		1,680,000/2,580,000
1,380,000/4,200,000
到達圧力(Pa) 10⁻⁷
最大寸法 別途確認
質量(kg) 61.0 69.0 115.0 175.0

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