出展
第66回電池討論会に出展いたしました。
2025年11月18日（火）～ 11月20日（木）にウインクあいちで開催された
「第66回電池討論会の付設企業展示」に出展いたしました。
おかげさまで多くのお客様にご来場いただき、盛況のうちに終えることができました。
ご来場いただきましたみなさまには心より御礼を申し上げます。
会場では、付設企業展示にて事前にご連絡しておりました下記製品の展示をいたしました。
ご興味を持っていただいた方も多く、装置についての説明をさせていただく機会がございました。
▼吸油量測定装置 AbsorptoMeter
▼SEM中の単一粒子電気特性評価システム
ご紹介製品情報を掲載したカタログの用意がございます。
ご希望の方は下記よりお申込みください。
また、アフターWeb展示会を開催しております。
出展製品の概要を掲載しておりますので、ご興味のある方はぜひご覧ください。
ご質問やご要望等ございましたら、上記お問い合わせフォームより
ご連絡いただけましたら、回答させていただきます。
| 製品名 | モフォロギシリーズ |
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| 特徴 | 全自動で粒子径と粒子形状を測定 |
| 測定原理 | 静的自動画像分析（乾式/湿式） |
| 測定範囲 |
0.5µm – 1300µm 2.5x：8.5 µm～1300 µm（公称値） |
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測定量 |
スライドガラス4枚分 |
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測定時間 |
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その他 |
ラマンスペクトルを用いた粒子の化学情報の取得 |
| カタログのお申込み |
※同業・競業他社様につきましては、
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| 製品名 | CPS Disc Centrifuge |
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| 特徴 | |
| 測定原理 | ディスク遠心式 |
| 測定範囲 | 0.01～40μm （粒子密度に依存） |
| 最大遠心力 | 600～12,000 rpm (Model DC12000) 600～18,000 rpm (Model DC18000) 600～24,000 rpm (Model DC24000UHR) |
| 測定セル | ディスク式（材質：CR-39） |
| 対応濃度 | |
| 対応粘度 | |
| 測定時間 | 3～30分（測定範囲、粒子密度に依存） |
| 温度制御 | |
| 測定光源 | 発光ダイオード 405nm or 470nm選択 |
| その他 | |
| カタログのお申込み |
※同業・競業他社様につきましては、
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| モデル名 | VSS-450-300 | RVS-210 | RSS-210-S | |
|---|---|---|---|---|
| 外観 |  |
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| 特徴 | ・真空、N2、H2、ギ酸 対応 ・フラックス入り/無しのはんだに対応 ・搬送ロボット/ローダーとの組合せ『可』 ・300mm角対応 |
・大気、真空、N2、H2、ギ酸 対応 ・200mm角対応 |
・大気、真空、N2、H2、ギ酸 対応 ・200mm角対応 |
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| 加熱プレートサイズ | WxD(mm) | 320×320 | 210×210 | 210×210 |
| 有効対象物サイズ | WxDxH(mm) | 300×300×50 | 200×200×50 | 200×200×50 |
| 最大到達温度 | 450℃ | 400℃ | 400℃ | |
| 加熱方式 | クロス配列IRヒーター （下部加熱） |
IRヒーター（下部加熱） | IRヒーター（下部加熱） | |
| 温度制御方式 | P.I.D.制御方式 | |||
| プレート上面内温度差 | 設定温度に対して±1%以内 | 設定温度に対して±1%以内 | ||
| （対象物：Φ300mmウエハ時） | （対象物：Φ200mmウエハ時） | （対象物：Φ200mmウエハ時） | ||
| 最大昇温速度 ※対象物の熱容量に因る |
150K/min. | 120K/min | 240K/min | |
| 最大降温速度 ※対象物の熱容量に因る |
90K/min（T=450℃>200℃） 60K/min（T=200℃>100℃） |
120K/min（T=400℃>200℃） — |
120K/min（T=400℃>200℃） — |
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| チャンバー真空耐久度 | 0.1 Pa（10-3hPa） | |||
| プロセスガス供給ライン | マスフローコントローラ×1（最大流量：5nlm） | |||
| コントローラ | タッチパネルコントローラSIMATIC®TP-700 | |||
| プロファイルプログラム登録数 | 最大：50プログラム | |||
| プログラムステップ数 | 最大：50ステップ | |||
| チャンバー冷却方式 | ウォータージャケット方式 | |||
| 加熱プレート冷却方式 | 水冷/空冷（共用可） | |||
| 装置サイズ | WxDxH(mm) | 550x690x830 | 670x544x320 | 430x295x290 |
| 装置重量 | (kg) | 約105kg | 約45kg | 約22kg |
| 電源仕様 | 三相200V・40A | 三相200V・25A | 三相200V・16A | |
| ギ酸・水素還元両対応 卓上型真空はんだリフロー装置 装置オプション | ||||
| 上部IRヒーター モジュール |
標準 | ○ （電源仕様：三相200V、80A） |
— | |
| セパレート用石英ガラス板 | ○ | — | ||
| チャンバー高さ | ○（120mm） | チャンバー高さ80mm | チャンバー高さ80mm | |
| 最大到達温度 | 650℃ | 最大到達温度500℃ | ||
| 蓋付きグラファイト製円筒アダプタ | — | — | ||
| グラファイト製 プレート |
標準 | — | — | |
| PyC浸潤 | — | — | ||
| SiCコーティング | — | — | ||
| ダブルチャンバー | — | — | ||
| 石英ガラス製 チャンバー |
標準 | — | — | |
| 高真空対応 | — | — | ||
| 内蔵ギ酸還元 モジュール |
内蔵 （標準の窒素ガスMFC共用） |
○ | ||
| 内蔵 （標準の窒素ガスMFC別系統） |
○ | |||
| 外付け （標準の窒素ガスMFC別系統） |
○ | |||
| ギ酸ガス除去用ケミカルフィルター | ○ | |||
| フラックストラップフィルター | — | — | ||
| 高濃度水素ガス供給システム （安全対策オプション含む） |
○ | |||
| チャンバー蓋インターロック | （標準装備） | ○ | ||
| 追加プロセスガス供給用マスフローコントローラ | ○ （合計4系統） |
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| 追加熱電対 （対象物温度測定・記録用） |
○ （合計1本） |
○ （合計3本） |
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| 湿度測定センサ （チャンバー内湿度測定・記録用） |
○ | — | ||
| 酸素濃度測定センサ （チャンバー内残留酸素濃度測定・記録用） |
○ | |||
| 3色パトライト（赤・黄・緑） | ○ | |||
| 高真空対応チャンバー10-4Pa（10-6hPa） 及びターボ分子ポンプ |
○ | |||
| 対象物持ち上げ用リフトピン | ○ | |||
| 外部機器通信用シリアル通信機能 | ○ | |||
| チャンバー蓋開閉用リモート制御機能 | ○ | |||
| 真空ポンプ （真空到達圧） |
低真空 | ○ （メンブレン式(200Pa)、耐腐食メンブレン式(200Pa)、ロータリー式(0.1Pa)、耐腐食ロータリー式(0.1Pa)、スクロール式(0.3Pa)、ドライ式(5Pa)から選択） |
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| 高真空 | ○ ターボ分子ポンプ（10-4Pa） |
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| 冷却機付きチラー | 1.3kW | ○ （5.3kW or 8.7kW） |
○ （1.3kW or 2.7kW） |
○ （1.3kW or 2.7kW） |
| ユニバーサル・ヒート・エクスチェンジャー | ○ （504x714x412mm、約50kg） |
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| RSO-200 | RSS-3X210-S | RSS-160-S | RSS-110-S |
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| ・大気、真空、N2、H2、ギ酸 対応 | |||
| 155×155×40 | 620×200×50 | 155×155×40 | 105×105×40 |
| 650℃ | 300℃ | 400℃ | |
| クロス配列IRヒーター （下部加熱） |
カートリッジヒーター（下部加熱） | ||
