マルチイオンゲージ

STシリーズ　熱陰極電離真空計＋オプションユニット
型式 ST200-A ST200-R ST200-E
（発売予定）		 ST200-A＋SWU10-R
ST200-R＋SWU10-R
ST200-E＋SWU10-R 		ST200-A＋SWU10-R＋SAU
ST200-R＋SWU10-R＋SAU
ST200-E＋SWU10-R＋SAU
仕様 標準仕様 シリアル
通信仕様		 EtherCAT仕様 ―
測定圧力範囲 1.0×10⁻⁵～1.0×10¹ Pa 1.0×10⁻⁵～1.0×10⁵ Pa
測定精度 1.0×10⁻⁴～3.0×10⁰ Pa：±10% 1.0×10⁻⁴～1.0×10⁴ Pa：±10%
1.0×10⁴～1.0×10⁵ Pa：±20% 		1.0×10⁻⁴～1.0×10⁴ Pa：±10%
1.0×10⁴～3.0×10⁵ Pa：±3%F.S.
（3.0×10³ Pa、基準温度25℃）
繰り返し精度 ST200単体モード：±2% ―
最大寸法(W×D×H/mm) 69×63×90 ―
最大質量 約360 g
※測定子による		 ―
SHシリーズ　熱陰極電離真空計＋オプションユニット
型式 SH200-A SH200-R SH200-E
（発売予定）		 SH200-A＋SWU10-R
SH200-R＋SWU10-R
SH200-E＋SWU10-R 		SH200-A＋SWU10-R＋SAU
SH200-R＋SWU10-R＋SAU
SH200-E＋SWU10-R＋SAU
仕様 標準仕様 シリアル
通信仕様		 EtherCAT仕様 ―
測定圧力範囲 5.0×10⁻⁸～1.0×10¹ Pa 5.0×10⁻⁸～1.0×10⁵ Pa
測定精度 5.0×10⁻⁸～1.0×10¹ Pa：±15% 5.0×10⁻⁸～4.0×10⁻¹ Pa：±15%
4.0×10⁻¹～3.0×10⁰ Pa：
±10～±15%
3.0×10⁰～1.0×10⁴ Pa：±10%
1.0×10⁴～1.0×10⁵ Pa：±20% 		5.0×10⁻⁸～4.0×10⁻¹ Pa：±15%
4.0×10⁻¹～3.0×10⁰ Pa：
±10～±15%
3.0×10⁰～1.0×10⁴ Pa：±10%
1.0×10⁴～3.0×10⁵ Pa：±3%F.S.
（3.0×10³ Pa、基準温度25℃）
繰り返し精度 SH200単体モード：±2% ―
最大寸法(W×D×H/mm) 69×63×90 ―
最大質量 約580 g
※測定子による 		―

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