| モデル名 |
VSS-450-300 |
RVS-210 |
RSS-210-S |
| 外観 |
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| 特徴 |
・真空、N2、H2、ギ酸 対応
・フラックス入り/無しのはんだに対応
・搬送ロボット/ローダーとの組合せ『可』
・300mm角対応 |
・大気、真空、N2、H2、ギ酸 対応
・フラックス入り/無しのはんだに対応
・200mm角対応
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・大気、真空、N2、H2、ギ酸 対応
・毎分240k/minの高速昇温
・200mm角対応
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| 加熱プレートサイズ |
WxD(mm) |
320×320 |
210×210 |
210×210 |
| 有効対象物サイズ |
WxDxH(mm) |
300×300×50 |
200×200×50 |
200×200×50 |
| 最大到達温度 |
450℃ |
400℃ |
400℃ |
| 加熱方式 |
クロス配列IRヒーター
（下部加熱） |
IRヒーター（下部加熱） |
IRヒーター（下部加熱） |
| 温度制御方式 |
P.I.D.制御方式 |
| プレート上面内温度差 |
設定温度に対して±1%以内 |
設定温度に対して±1%以内 |
| （対象物：Φ300mmウエハ時） |
（対象物：Φ200mmウエハ時） |
（対象物：Φ200mmウエハ時） |
最大昇温速度
※対象物の熱容量に因る |
150K/min. |
120K/min |
240K/min |
最大降温速度
※対象物の熱容量に因る |
90K/min（T=450℃>200℃）
60K/min（T=200℃>100℃） |
120K/min（T=400℃>200℃）
— |
120K/min（T=400℃>200℃）
— |
| チャンバー真空耐久度 |
0.1 Pa（10-3hPa） |
| プロセスガス供給ライン |
マスフローコントローラ×1（最大流量：5nlm） |
| コントローラ |
タッチパネルコントローラSIMATIC®TP-700 |
| プロファイルプログラム登録数 |
最大：50プログラム |
| プログラムステップ数 |
最大：50ステップ |
| チャンバー冷却方式 |
ウォータージャケット方式 |
| 加熱プレート冷却方式 |
水冷/空冷（共用可） |
| 装置サイズ |
WxDxH(mm) |
550x690x830 |
670x544x320 |
430x295x290 |
| 装置重量 |
(kg) |
約105kg |
約45kg |
約22kg |
| 電源仕様 |
三相200V・40A |
三相200V・25A |
三相200V・16A |
| ギ酸・水素還元両対応 卓上型真空はんだリフロー装置 装置オプション |
上部IRヒーター
モジュール |
標準 |
○
（電源仕様：三相200V、80A） |
— |
| セパレート用石英ガラス板 |
○ |
— |
| チャンバー高さ |
○（120mm） |
チャンバー高さ80mm |
チャンバー高さ80mm |
| 最大到達温度 |
650℃ |
|
最大到達温度500℃ |
| 蓋付きグラファイト製円筒アダプタ |
— |
— |
グラファイト製
プレート |
標準 |
— |
— |
| PyC浸潤 |
— |
— |
| SiCコーティング |
— |
— |
| ダブルチャンバー |
— |
— |
石英ガラス製
チャンバー |
標準 |
— |
— |
| 高真空対応 |
— |
— |
内蔵ギ酸還元
モジュール |
内蔵
（標準の窒素ガスMFC共用） |
○ |
内蔵
（標準の窒素ガスMFC別系統） |
○ |
外付け
（標準の窒素ガスMFC別系統） |
○ |
| ギ酸ガス除去用ケミカルフィルター |
○ |
| フラックストラップフィルター |
— |
— |
高濃度水素ガス供給システム
（安全対策オプション含む） |
○ |
| チャンバー蓋インターロック |
（標準装備） |
○ |
| 追加プロセスガス供給用マスフローコントローラ |
○
（合計4系統） |
|
追加熱電対
（対象物温度測定・記録用） |
○
（合計1本） |
○
（合計3本） |
|
湿度測定センサ
（チャンバー内湿度測定・記録用） |
○ |
— |
酸素濃度測定センサ
（チャンバー内残留酸素濃度測定・記録用） |
○ |
| 3色パトライト（赤・黄・緑） |
○ |
高真空対応チャンバー10-4Pa（10-6hPa）
及びターボ分子ポンプ |
○ |
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| 対象物持ち上げ用リフトピン |
○ |
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| 外部機器通信用シリアル通信機能 |
○ |
|
| チャンバー蓋開閉用リモート制御機能 |
○ |
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真空ポンプ
（真空到達圧） |
低真空 |
○
（メンブレン式(200Pa)、耐腐食メンブレン式(200Pa)、ロータリー式(0.1Pa)、耐腐食ロータリー式(0.1Pa)、スクロール式(0.3Pa)、ドライ式(5Pa)から選択） |
| 高真空 |
○
ターボ分子ポンプ（10-4Pa） |
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| 冷却機付きチラー |
1.3kW |
○
（5.3kW or 8.7kW） |
○
（1.3kW or 2.7kW） |
○
（1.3kW or 2.7kW） |
| ユニバーサル・ヒート・エクスチェンジャー |
○
（504x714x412mm、約50kg） |
