| モデル名 | VSS-450-300 | RVS-210 | RSS-210-S | 
| 外観 |  |  |  | 
| 特徴 | ・真空、N2、H2、ギ酸 対応 ・フラックス入り/無しのはんだに対応
 ・搬送ロボット/ローダーとの組合せ『可』
 ・300mm角対応
 | ・大気、真空、N2、H2、ギ酸 対応・フラックス入り/無しのはんだに対応
 ・200mm角対応 | ・大気、真空、N2、H2、ギ酸 対応・毎分240k/minの高速昇温
 ・200mm角対応 | 
| 加熱プレートサイズ | WxD(mm) | 320×320 | 210×210 | 210×210 | 
| 有効対象物サイズ | WxDxH(mm) | 300×300×50 | 200×200×50 | 200×200×50 | 
| 最大到達温度 | 450℃ | 400℃ | 400℃ | 
| 加熱方式 | クロス配列IRヒーター (下部加熱)
 | IRヒーター(下部加熱) | IRヒーター(下部加熱) | 
| 温度制御方式 | P.I.D.制御方式 | 
| プレート上面内温度差 | 設定温度に対して±1%以内 | 設定温度に対して±1%以内 | 
| (対象物:Φ300mmウエハ時) | (対象物:Φ200mmウエハ時) | (対象物:Φ200mmウエハ時) | 
| 最大昇温速度 ※対象物の熱容量に因る
 | 150K/min. | 120K/min | 240K/min | 
| 最大降温速度 ※対象物の熱容量に因る
 | 90K/min(T=450℃>200℃) 60K/min(T=200℃>100℃)
 | 120K/min(T=400℃>200℃) —
 | 120K/min(T=400℃>200℃) —
 | 
| チャンバー真空耐久度 | 0.1 Pa(10-3hPa) | 
| プロセスガス供給ライン | マスフローコントローラ×1(最大流量:5nlm) | 
| コントローラ | タッチパネルコントローラSIMATIC®TP-700 | 
| プロファイルプログラム登録数 | 最大:50プログラム | 
| プログラムステップ数 | 最大:50ステップ | 
| チャンバー冷却方式 | ウォータージャケット方式 | 
| 加熱プレート冷却方式 | 水冷/空冷(共用可) | 
| 装置サイズ | WxDxH(mm) | 550x690x830 | 670x544x320 | 430x295x290 | 
| 装置重量 | (kg) | 約105kg | 約45kg | 約22kg | 
| 電源仕様 | 三相200V・40A | 三相200V・25A | 三相200V・16A | 
| ギ酸・水素還元両対応 卓上型真空はんだリフロー装置 装置オプション | 
| 上部IRヒーター モジュール
 | 標準 | ○ (電源仕様:三相200V、80A)
 | — | 
| セパレート用石英ガラス板 | ○ | — | 
| チャンバー高さ | ○(120mm) | チャンバー高さ80mm | チャンバー高さ80mm | 
| 最大到達温度 | 650℃ |  | 最大到達温度500℃ | 
| 蓋付きグラファイト製円筒アダプタ | — | — | 
| グラファイト製 プレート
 | 標準 | — | — | 
| PyC浸潤 | — | — | 
| SiCコーティング | — | — | 
| ダブルチャンバー | — | — | 
| 石英ガラス製 チャンバー
 | 標準 | — | — | 
| 高真空対応 | — | — | 
| 内蔵ギ酸還元 モジュール
 | 内蔵 (標準の窒素ガスMFC共用)
 | ○ | 
| 内蔵 (標準の窒素ガスMFC別系統)
 | ○ | 
| 外付け (標準の窒素ガスMFC別系統)
 | ○ | 
| ギ酸ガス除去用ケミカルフィルター | ○ | 
| フラックストラップフィルター | — | — | 
| 高濃度水素ガス供給システム (安全対策オプション含む)
 | ○ | 
| チャンバー蓋インターロック | (標準装備) | ○ | 
| 追加プロセスガス供給用マスフローコントローラ | ○ (合計4系統)
 |  | 
| 追加熱電対 (対象物温度測定・記録用)
 | ○ (合計1本)
 | ○ (合計3本)
 |  | 
| 湿度測定センサ (チャンバー内湿度測定・記録用)
 | ○ | — | 
| 酸素濃度測定センサ (チャンバー内残留酸素濃度測定・記録用)
 | ○ | 
| 3色パトライト(赤・黄・緑) | ○ | 
| 高真空対応チャンバー10-4Pa(10-6hPa) 及びターボ分子ポンプ
 | ○ |  | 
| 対象物持ち上げ用リフトピン | ○ |  | 
| 外部機器通信用シリアル通信機能 | ○ |  | 
| チャンバー蓋開閉用リモート制御機能 | ○ |  | 
| 真空ポンプ (真空到達圧)
 | 低真空 | ○ (メンブレン式(200Pa)、耐腐食メンブレン式(200Pa)、ロータリー式(0.1Pa)、耐腐食ロータリー式(0.1Pa)、スクロール式(0.3Pa)、ドライ式(5Pa)から選択)
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| 高真空 | ○ ターボ分子ポンプ(10-4Pa)
 |  | 
| 冷却機付きチラー | 1.3kW | ○ (5.3kW or 8.7kW)
 | ○ (1.3kW or 2.7kW)
 | ○ (1.3kW or 2.7kW)
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| ユニバーサル・ヒート・エクスチェンジャー | ○ (504x714x412mm、約50kg)
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