ワンショット多層膜３D欠陥検査

対象物にレーザーを照射すると、厚みと屈折率の変化によって波面が変化します。
その変化を波面センサで検出し、独自ソフトウェアを使用して数値解析を行い、像を再構築しています。

機械的にスキャンすることなく、1400μmのフォーカス情報を取得可能

データ取得後に、後から任意の深さ・位置にソフトウェア上で再フォーカスが可能（デジタルリフォーカシング）

広視野かつ無歪/無収差イメージング

観察内容に応じて、ワンショットイメージングから高品質イメージングまで対応可能

□目で見えない透明フィルム表面の傷を可視化・定量化

　nmオーダーの形状を非接触・非破壊・非侵襲で取得します。
　ワンショットで深さ方向の形状も取得する為、欠陥の断面形状も可視化し数値化可能です。

□透明フィルムの内部の透明フィラーを可視化

　従来では難しかった透明フィルム内の透明フィラーを屈折率差により、ワンショットで観察することができます。
　観察後のデータ内で深さ方向に自由にピントを調整出来る為、異なる深さに存在するフィラーを識別可能です。

□ガラス表面に形成された透明形状を可視化・定量化

　目で見えない、表面や内部に形成された透明構造体も可視化・数値化可能です。

□ガラス上で変化していく透明体（塗膜）のリアルタイム観察

　1msec未満で記録する、ワンショット撮像モードでは透明試料が形状を変える様子をリアルタイムで観察可能です。
　乾燥挙動の評価や、動的な現象のメカニズム解析に活用可能です。