ウェハなどの基板の欠陥を高速でスキャン！

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  • 高速レーザー欠陥スキャナー　AT1／AT2
  • ㈱日本レーザー

ガラス基板、半導体基板、化合物基板の欠陥(傷、異物、内部応力)を

高速でスキャンする装置です。
nmオーダーの高感度で、150mmウェハを60秒でスキャン。

最大サイズ450mmに対応しています。

 

【特徴】

・高速
　150mmウェハを60秒(AT2)、255秒(AT1)でスキャンが可能！

 

・高感度
　高さ100nm～(AT1)、200nm～(AT2)が検出可能！

 

・多様な欠陥に対応
　4つの検出方式(明視野、暗視野、傾斜、偏光)で同時に検査することで、傷、異物、凹凸、内部応力などを検出可能！

 

・多様なワーク形状に対応
　XYステージ(スピンしない)なので、角型基板にも対応！

 

 

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