触針式表面形状測定装置 Dektak Pro｜ブルカージャパン株式会社

Dektak Proは、55年以上にわたる技術革新の集大成としてリニューアルされた触針式表面形状測定装置の最新モデルです。

最先端材料における、膜厚、段差、表面粗さ、応力、ウエハの反り測定等に測定精度・再現性・解析速度・操作性に大幅な進化を遂げ業界最高水準のパフォーマンスを実現します。

200mm （8inch）/ 150mm（6inch） / 100mm（4inch）サンプルステージのラインナップを揃え、用途に合わせて最適な構成を選択いただけます。自動測定対応モデルもご用意していますので、研究開発から品質管理まで、幅広いニーズに対応が可能です。構成の選択肢も豊富で、導入環境に応じたオプションのラインナップもございます。