トライボインデンター｜ブルカージャパン株式会社

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  • TI 990 TriboIndenter／TI Premier II Nanoindenter

ご要望のニーズに合せたスペック、アプリケーションをご用意しています。

 

・TI 990 TriboIndenter

・TI Premier II Nanoindenter

 

製品情報

概要

型式 TI 990 TriboIndenter TI Premier II Nanoindenter
外観
個別特徴

硬質材料/樹脂材料など幅広い材料系に対応し、

12インチウエハーも測定可。

超高速マッピングでスループット向上。

コンパクト設計。基本構成でも多機能。

直感的な操作性と自動化対応。

 

特徴

・特許技術である静電容量型トランスデューサーを用いることで得られた極めて低いフロアノイズ
・SPMイメージング機能を用いることで押し込み試験を実施する圧子でそのまま表面形状像を観察し、
　業界最高の+/-10nmの精度での測定箇所指定を実現
・高性能なコントローラーを搭載することで高フィードバックループ・サンプルリングレートによる材料挙動の解析が可能
・ステージに高さの違うサンプルを設置し、自動測定することが可能
・周波数0.1～300Hzにおけるナノスケール粘弾性測定（貯蔵・損失弾性率、Tan δの評価）
・xSol環境制御ステージにより最大800℃の加熱や、最低-120℃の冷却・湿度制御が可能
・XPM高速インデンテーションにより高いスループットを実現（マッピング機能付属）

 

原理

＜ナノインデンテーションの原理＞

ナノインデンテーションは深さ数nmからumオーダーの押し込み試験を行い、硬さ・弾性率などの機械的特性を評価する方法です。

2002年にISO14577計装化押し込み硬さ試験及び材料パラメータで規格化されました。ビッカース・ロックウェルなどの硬さ試験と比べ、押し込み深さが極めて小さいため、光学顕微鏡などで圧痕を直接観察することができません。

そのため、ナノインデンテーションでは測定時に得られる荷重変位曲線と押し込み試験に用いた圧子（プローブ）の接触投影面積を
解析し、硬さ・弾性率などの値を算出します。

 

＜測定から得られるデータ＞