製品のご紹介
製品のご紹介
光干渉式顕微鏡でありながら表面形状の評価方法である
国際規格ISO25178を参照にしたパラメーター算出により、
表面形状測定の新たなスタンダードとして注目を集めています。
材料の平たん化や薄膜化、微細構造化が急速に進み、従来、一般的であったAFM(走査型プローブ顕微鏡)や
触針式粗さ計、レーザー顕微鏡などを上回る計測精度が求められています。
光の干渉現象を利用する走査型白色干渉顕微鏡を、より使いやすく、手軽に導入できるようにした
ナノ3D光干渉計測システムVS1800では、高精度かつ広範囲な表面形状計測を高速に行うことができます。
また、従来の線粗さによる測定では、「測定箇所による結果のバラつき」と
「走査方向に依存する結果のバラつき」が大きな課題となっています。
VS1800は、その対応として定められた表面形状の評価方法である国際規格ISO25178を参照にしたパラメータ算出により、
表面形状測定の新たなスタンダードとして注目を集めています。
1.高い垂直分解能(Sq分解能0.01nm)
2.優れた測定再現性
3.計測から解析迄ハイスループットを実現(最速5秒)
4.高分解能で広域計測(ワンショット最大6.4㎜角)
1.層断面解析(非破壊膜厚測定)
2.適切な粗さパラメーター選択をサポート(ISO25178パラメーター比較)
3.直感的操作で分かりやすいGUI(計測・解析)