白色干渉顕微鏡VS1800　～新たなスタンダードに～

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  • 株式会社日立ハイテク 白色干渉顕微鏡VS1800

光干渉式顕微鏡でありながら表面形状の評価方法である
国際規格ISO25178を参照にしたパラメーター算出により、
表面形状測定の新たなスタンダードとして注目を集めています。

製品情報

特徴

材料の平たん化や薄膜化、微細構造化が急速に進み、従来、一般的であったAFM（走査型プローブ顕微鏡）や
触針式粗さ計、レーザー顕微鏡などを上回る計測精度が求められています。

光の干渉現象を利用する走査型白色干渉顕微鏡を、より使いやすく、手軽に導入できるようにした
ナノ3D光干渉計測システムVS1800では、高精度かつ広範囲な表面形状計測を高速に行うことができます。

また、従来の線粗さによる測定では、「測定箇所による結果のバラつき」と
「走査方向に依存する結果のバラつき」が大きな課題となっています。

VS1800は、その対応として定められた表面形状の評価方法である国際規格ISO25178を参照にしたパラメータ算出により、
表面形状測定の新たなスタンダードとして注目を集めています。

光干渉方式だからできること

１．高い垂直分解能（Sq分解能0.01nm）
２．優れた測定再現性
３．計測から解析迄ハイスループットを実現（最速5秒）
４．高分解能で広域計測（ワンショット最大6.4㎜角）

VS1800だからできること

１．層断面解析（非破壊膜厚測定）
２．適切な粗さパラメーター選択をサポート(ISO25178パラメーター比較)
３．直感的操作で分かりやすいGUI(計測・解析)

 

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