走査電子顕微鏡FlexSEM1000Ⅱ

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  • 株式会社日立ハイテク 走査電子顕微鏡FlexSEM1000Ⅱ

FlexSEM 1000 IIは、新設計の電子光学系と高感度検出器により、
加速電圧20 kVで像分解能 4.0 nmを実現しています。

製品情報

特徴

新開発のユーザーインターフェースは、明るさやフォーカスの自動調整機能の高速化により、
短時間で多彩な観察を可能にします。

また、電子顕微鏡の欠点であった視野探しの困難さを容易にする
新ナビゲーション機能「SEM MAP」を搭載し直観的な視野移動を実現しています。

主な特長

1. 卓上設置可能なコンパクトサイズ*1でありながら、分解能4.0 nmを実現
2. 独自の高感度二次電子、反射電子検出器、低真空検出器（UVD*2）により、
　低加速/低真空観察時の高画質化を実現
3. ユーザーの熟練度を問わず高画質・高スループットを実現する新ユーザーインターフェース
4. 観察時の視野探しや試料上の位置把握をサポートする新ナビゲーション機能「SEM MAP」
5. 迅速な元素分析を実現する大口径（30 mm2）窒素レスEDS検出器*2

*1卓上設置時は、装置本体と電源ボックスを分離します
*2オプション

 

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