卓上SEM（卓上電子顕微鏡）

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  • (株)日立ハイテク 卓上顕微鏡 Miniscope®
  • TM4000 Series

○ 絶縁物試料でも前処理なしでそのまま観察可能

 

コンパクトな卓上サイズで、デジカメのような誰もが簡単に使える人気の卓上SEMが、さらなる進化を遂げました。
もっと高画質に、もっと使いやすく簡単に見やすく。
観察ニーズの“もっと”にお応えします。
真空引き時間中に真空試料室内に配置されたカメラで撮影した画像を基にサンプルをナビゲートし、ワンクリックで観察箇所への移動可能なSEM-MAP機能を搭載。
最新モデルでは省力化・自動化を推進するマクロ機能、画質と解析速度を向上させる大電流モード、計画的な装置運用を支援する装置状態モニタリング機能が新たに付加されました。

製品情報

特徴

・ 絶縁物試料も前処理なしでそのまま観察可能な低真空タイプ
・ 電子ビーム条件 （加速電圧） と検出信号を切り替えることで、評価目的に沿った画像を取得
（※TM4000PlusⅢは低真空二次検出器で二次電子像、反射電子像、両方の合成像も観察可能）
・ オイルフリーポンプと中心合わせ不要なカートリッジフィラメントで手軽なメンテナンス
・Report Createrで、手軽にレポート作成
・Camera Naviを使えばカメラ画像で視野探し、MAP機能で観察をサポート

 

 

新型モデルの追加機能（TM4000Ⅲ/PlusⅢ）

大電流モード

 

信号量追加により表面観察のS/Nと画質の向上（ざらつき低減）

　　　　　　　　　　　　　従来機（モード4）　　　　　新型機（モード5）

　　　 　　　

 

※モード5が新たに追加
サンプル：花粉のう（やく）
倍率：×150
信号：UVD
加速電圧：5kV
WD：12.7mm
真空モード：帯電軽減

 

 

自動粒子解析の高速化

分析精度を低下させずに、スループットよく粒子解析を実施できます。

  mode4 mode5
測定粒子数 16,716 20,357
収集時間(Sec)※ 0.4 0.08
所要時間(Min) 131 45

※収集時間：EDS側のパラメータ。粒子1個あたりのX線収集時間。
モード5ではモード4と同等のカウント数を維持できる程度まで収集時間を短くした。
スクリーニング用途を想定し10,000カウント/粒子。

 

 

装置状態のモニタリング機能

 

フィラメントインジゲータ

　フィラメント交換時期の目安が分かるので、突然のフィラメント切れによる交換の心配を軽減します。

 

 

AutoOQ

　SEM本体の状態をレポートとして出力し、装置状態の把握/共有できます。

 

 

観察動作の自動化 マクロ機能（オプション）

　大型SEMでの機能を卓上機にも搭載。
　ステージ移動、倍率変更、撮像などの観察動作をレシピとして保存することができます。
　レシピ化された機能は１クリックで自動実行可能です。

 

仕様

旧機種から追加となった新機能及び主仕様

型式 TM4000PlusII TM4000PlusIII
倍率 ×10～×100,000（写真倍率）※1
×25～×250,000（モニター倍率）※2		 ×10～×100,000（写真倍率）※1
×25～×250,000（モニター倍率）※2
加速電圧 5 kV、10 kV、15 kV、20 kV※3 5 kV、10 kV、15 kV、20 kV※3
観察モード設定 4段階 5段階（大電流モード追加）
最大試料サイズ 80 mm（径）、50 mm（厚） 80 mm（径）、50 mm（厚）
ステージ マニュアル モータードライブ
検出器 高感度4分割反射電子検出器
高感度低真空二次電子検出器		 高感度4分割反射電子検出器
高感度低真空二次電子検出器
自動化支援機能 – マクロ機能（オプション）
フィラメントインジケーター – 標準付属
システムレポート機能 – 新機能（AutoOQ）

※1　写真倍率は、127㎜×95㎜（写真サイズ）を表示サイズとして倍率を想定。
※2　モニター倍率は、23.8 型ディスプレイ上の表示画像が実倍率になるように倍率を想定。
※3　20 kV使用時はフォーカス位置に制限があります。