資料保管庫や有機溶剤を使用する場の空間の予防・安全対策に！

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株式会社TOGA 有害ガス浄化装置
TOGA Puri Intelligent/TOGA Puri

資料保管庫内の酢酸や資料に影響を与える
ガスの浄化をすることもできます。
また、有機溶剤を使用する作業場で作業者の安全を守ります。

〈モデル〉

・TOGA-S02D（据置型）

・TOGA-M01D（移動型）

導入前のデモテスト／ランニングコストのお見積りの提出も可能です。

上記お問い合わせフォーム、または営業担当にご連絡ください。

製品情報

製品紹介
TOGAⓇフィルターの特徴
TOGA製品導入4つのメリット
参考動画
関連製品

製品紹介

〈高性能TOGAⓇフィルターが研究室のお困りごとを解決します〉

★TOGAⓇフィルターが有害ガス・悪臭を99%以上除去

・悪臭除去

・移動ができてコンパクト

・工事不要

TOGA Puri Intelligent　仕様
モデル	TOGA-S02D（据置型）	TOGA-M01D（移動型）
サイズ（W×D×H,㎜）	500×450×1770	400×400×960
吸着効率	VOC’s、酸、塩基、ヒューム99%以上除去
フィルター交換周期（推奨）	1年（有害ガスの濃度及び種類に応じて要相談）
風量		10㎥/min
使用面積	79.2㎡
消費電力	169W
電源	100V, 50/60Hz
風速段階	5段階
重量	110㎏	65㎏

※風量はブロワーメーカー公証値です。実証値をご希望の際は別途お問合せお願いします。

TOGAⓇフィルターの特徴

1.有害ガスを99%以上除去。デモテストによる確かな性能。

2.フィルターで酸・塩基の中和が可能。

3.化学反応により、フィルターの長寿命化を実現。

4.研究環境に合わせてフィルターのカスタマイズが可能。

5.二次汚染の可能性を最小化し、環境に優しい。

〈フィルターのデモ試験結果〉

作業内容	対象物質	フィルター通過前	フィルター通過後
文化財修復作業	酢酸エチル	300ppm	<0.01 ppm
洗浄	アセトン	180ppm	<0.1 ppm
大学化学実験	トルエン	40ppm	<0.01 ppm
フラックス	塩化水素	振り切り（12ppm≧）	<0.01 ppm
酸前処理	硝酸	7ppm	<0.01 ppm
中和	アンモニア	40ppm	<1 ppm

TOGA製品導入4つのメリット

1.実験室の悪臭を劇的に改善
　物理吸着に加え、化学・中和の3つの方法を組み合わせた

　TOGAフィルターにより、
　VOE・酸・塩基等あらゆる悪臭除去が可能です。

2.ダクト工事不要

　コンセントにつなぐだけ。工事費用は要りません。

3.ランニングコストの軽減

　冷気・暖気がダクトから排出せず、光熱費節約にも寄与。

4.健康保全、快適な研究環境へ

　高性能のTOGAフィルターが

　作業者様の健康保全に寄与します。

●物理吸着のみ

●物理吸着＋●化学反応＋●中和反応

あらゆる悪臭除去が可能

製品名	CPS Disc Centrifuge

特徴
測定原理	ディスク遠心式
測定範囲	0.01～40μm （粒子密度に依存）
最大遠心力	600～12,000 rpm (Model DC12000) 600～18,000 rpm (Model DC18000) 600～24,000 rpm (Model DC24000UHR)
測定セル	ディスク式（材質：CR-39）
対応濃度
対応粘度
測定時間	3～30分（測定範囲、粒子密度に依存）
温度制御
測定光源	発光ダイオード 405nm or 470nm選択
その他
カタログのお申込み	カタログのお申込み ※同業・競業他社様につきましては、カタログ請求をご遠慮いただくようお願いいたします。

製品名	モフォロギシリーズ

特徴	全自動で粒子径と粒子形状を測定
測定原理	静的自動画像分析（乾式/湿式）
測定範囲	0.5µm – 1300µm 2.5x：8.5 µm～1300 µm（公称値） 5x：4.5 µm～520 µm（公称値） 10x：2.5 µm～260 µm（公称値） 20x：1.5 µm～130 µm（公称値） 50x：0.5 µm～50 µm（公称値）
測定量	スライドガラス4枚分
測定時間
その他	ラマンスペクトルを用いた粒子の化学情報の取得ウエットセルによる液中粒子の分析
カタログのお申込み	カタログのお申込み ※同業・競業他社様につきましては、カタログ請求をご遠慮いただくようお願いいたします。

モデル名		VSS-450-300	RVS-210	RSS-210-S
外観
特徴		・真空、N2、H2、ギ酸対応・フラックス入り/無しのはんだに対応・搬送ロボット/ローダーとの組合せ『可』・300mm角対応	・大気、真空、N2、H2、ギ酸対応・フラックス入り/無しのはんだに対応・200mm角対応	・大気、真空、N2、H2、ギ酸対応・毎分240k/minの高速昇温・200mm角対応
加熱プレートサイズ	WxD(mm)	320×320	210×210	210×210
有効対象物サイズ	WxDxH(mm)	300×300×50	200×200×50	200×200×50
最大到達温度		450℃	400℃	400℃
加熱方式		クロス配列IRヒーター（下部加熱）	IRヒーター（下部加熱）	IRヒーター（下部加熱）
温度制御方式		P.I.D.制御方式
プレート上面内温度差		設定温度に対して±1%以内		設定温度に対して±1%以内
プレート上面内温度差		（対象物：Φ300mmウエハ時）	（対象物：Φ200mmウエハ時）	（対象物：Φ200mmウエハ時）
最大昇温速度 ※対象物の熱容量に因る		150K/min.	120K/min	240K/min
最大降温速度 ※対象物の熱容量に因る		90K/min（T=450℃>200℃） 60K/min（T=200℃>100℃）	120K/min（T=400℃>200℃） —	120K/min（T=400℃>200℃） —
チャンバー真空耐久度		0.1 Pa（10^-3hPa）
プロセスガス供給ライン		マスフローコントローラ×1（最大流量：5nlm）
コントローラ		タッチパネルコントローラSIMATIC®TP-700
プロファイルプログラム登録数		最大：50プログラム
プログラムステップ数		最大：50ステップ
チャンバー冷却方式		ウォータージャケット方式
加熱プレート冷却方式		水冷/空冷（共用可）
装置サイズ	WxDxH(mm)	550x690x830	670x544x320	430x295x290
装置重量	(kg)	約105kg	約45kg	約22kg
電源仕様		三相200V・40A	三相200V・25A	三相200V・16A
ギ酸・水素還元両対応卓上型真空はんだリフロー装置　装置オプション
上部IRヒーターモジュール	標準	○ （電源仕様：三相200V、80A）	—
上部IRヒーターモジュール	セパレート用石英ガラス板	○	—
チャンバー高さ		○（120mm）	チャンバー高さ80mm	チャンバー高さ80mm
最大到達温度		650℃		最大到達温度500℃
蓋付きグラファイト製円筒アダプタ		—	—
グラファイト製プレート	標準	—	—
	PyC浸潤	—	—
	SiCコーティング	—	—
ダブルチャンバー		—	—
石英ガラス製チャンバー	標準	—	—
石英ガラス製チャンバー	高真空対応	—	—
内蔵ギ酸還元モジュール	内蔵（標準の窒素ガスMFC共用）	○
	内蔵（標準の窒素ガスMFC別系統）	○
	外付け（標準の窒素ガスMFC別系統）	○
ギ酸ガス除去用ケミカルフィルター		○
フラックストラップフィルター		—	—
高濃度水素ガス供給システム（安全対策オプション含む）		○
チャンバー蓋インターロック		（標準装備）	○
追加プロセスガス供給用マスフローコントローラ		○ （合計4系統）
追加熱電対（対象物温度測定・記録用）		○ （合計1本）	○ （合計3本）
湿度測定センサ（チャンバー内湿度測定・記録用）		○		—
酸素濃度測定センサ（チャンバー内残留酸素濃度測定・記録用）		○
3色パトライト（赤・黄・緑）		○
高真空対応チャンバー10-4Pa（10-6hPa）及びターボ分子ポンプ		○
対象物持ち上げ用リフトピン		○
外部機器通信用シリアル通信機能		○
チャンバー蓋開閉用リモート制御機能		○
真空ポンプ（真空到達圧）	低真空	○ （メンブレン式(200Pa)、耐腐食メンブレン式(200Pa)、ロータリー式(0.1Pa)、耐腐食ロータリー式(0.1Pa)、スクロール式(0.3Pa)、ドライ式(5Pa)から選択）
真空ポンプ（真空到達圧）	高真空	○ ターボ分子ポンプ（10-4Pa）
冷却機付きチラー	1.3kW	○ （5.3kW or 8.7kW）	○ （1.3kW or 2.7kW）	○ （1.3kW or 2.7kW）
ユニバーサル・ヒート・エクスチェンジャー		○ （504x714x412mm、約50kg）

RSO-200	RSS-3X210-S	RSS-160-S	RSS-110-S

・大気、真空、N2、H2、ギ酸対応
155×155×40	620×200×50	155×155×40	105×105×40
650℃	300℃	400℃
	クロス配列IRヒーター（下部加熱）	カートリッジヒーター（下部加熱）

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TOGAⓇフィルターの特徴

TOGA製品導入4つのメリット

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