製造過程ではもっと高温、保管ではもっと低温になるのだが?

微小物性評価装置に温度雰囲気のステージを付加した事例。微小物性評価装置は、薄膜や微小サンプルの硬度、弾性定数を再現性よく測定できる装置として優れもの。ですが、製造過程で起こり得る雰囲気(150℃)や保管状態(-20℃)での挙動を測定したいとのご要望に応え-30℃~250℃で可能なステージを製作して付加した事例です。単純な冷却では空気中の水分が凍結するため、四方よりN2パージをしながらペリチェ素子で冷却する方式。エレクトロニクス系材料開発分野で大きな支持を得ています。

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