■Kleindiek社　マイクロマニュピレーター(プローバー)　MM3A-EM

SEM中の単一粒子電気特性評価システム
数十nm ～粒子・領域に対する電気的特性評価が可能です。

・サブナノ動作分解能でナノスケールの対象にも正確に接触
・電気的接触状態をリアルタイム測定
・SEM と連携しSEM 像上に可視化