HOME >環境情報 >業界最高水準の省電力を実現したドライ真空ポンプ 株式会社三ツワフロンテック
MITSUWA RIKAGAKU ロゴマーク MITAUWA RIKAGAKU WEB SITE
HOME 商品のご紹介 困りごとFAQルーム 会社案内 採用情報 環境情報 リンク サイトマップ
お問い合せ
三ツワ理化学・本社はISO14001(環境マネジメントシステム)認証を取得しました。
 
●業界最高水準の省電力を実現したドライ真空ポンプ
ERシリーズ
   
説明  
各排気ステージの容量配分の最適化・ブラシレス直流モータの採用等徹底した省電力化設計を行い、業界最高水準の省電力を実現いたしましたドライ真空ポンプです。 スパッタ、アッシャー、耐蝕性を要求されるエッチング等のプロセス用途に最適です。
<特長>
○ランニングコスト低減
・消費電力:Max.58%低減(当社比)
・N2消費量の低減。N2パージ「0SLM」にて運転可能(クリーン排気用途)。
○省スペース
○優れた耐蝕性
主要部品に、表面硬度が高く耐食性に優れた表面処理を標準採用。耐食性ガス排気時のポンプ内部の腐食を抑えます。
 

仕様
諸元
ER80
ER150
ER300
ER600
ER1200
実効最大排気速度(L/min) 80(1330) 150(2500) 300(6000) 700(11667) 1080(18000)
到達圧力(Pa) 2 0.67
消費電力 at Final(kW) 1.3 1.5 1.5 1.9 1.9
冷却水量(L/min) 3
N2パージガス(SLM) 0〜50
吸気口サイズ NW40 NW50 NW80 NW100
排気口サイズ NW40
外径寸法L*W*H(mm) 857*380*490 907*380*490 857*380*755 907*380*755 907*440*862
質量(kg) 167 172 250 300 350
通信機能 集中監視システム対応
待機モード
1.装置からの信号を受け,あらかじめ設定されたモータ回転数に落とし,電力を低減する機能(回転数の設定は変更可能)2.ガスバラストガスを使用している場合はガスバラストガスを停止させN2の消費を低減する機能
瞬低対策 500m
安全規格対応 SEMI-S2000対応,CEマーク,UL準拠
 
お問い合せ HOME BACK TOP
Copyright Mitsuwa Frontech Corp. All Right Reserved.