HOME>商品のご紹介 >フラットな素材表面のわずかな反り・うねり・凹凸を高分解能で計測・判定!

株式会社三ツワフロンテック
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MFW201512-01

三次元表面形状検査装置 SP3D

フラットな素材表面に存在する
わずかな反り・うねり・凹凸を、
高分解能で計測・判定!

レーザービームによる光切断方式にて、素材表面の凹凸を、
0.3μmの高さ分解能で計測します。
色合いや反射率の違いでは判定ができなかった欠陥を、確実に捉えます。

制御ユニットイメージ

■ 特徴

■ アプリケーション例

●金属プレート表面の研磨後の反り検査

金属プレート表面の研磨後の反り検査

●1円玉撮像例

1円玉撮像例

●放熱板の平面度の連続検査

自動車系パワー半導体に用いる放熱板。金属板と絶縁シートで構成されており、打ち抜きで製品にしていきます。その際に発生する、『反り』による平面度の狂いや、『エッジ欠け』などの表面欠陥を、特殊なレーザースリット光源と3Dカメラで検出します。

放熱板の平面度の連続検査

●クラッチ板表面のコンタミ(異物)検出

クラッチ板は非常に繊維質が多くざらつきのある表面のため、一般的に得られる二次元画像では、表面に付着したコンタミを区別できませんが、SP3Dシステムにより正確な高さ情報から判断をすることで、検出が可能になりました。

クラッチ板表面のコンタミ(異物)検出

●樹脂テープ材表面のロール・ツー・ロール検査

溶融押出機によりテープ状に成形された高圧ケーブル被覆材の表面検査では、高さが20μmにも満たないような欠陥サイズに対して、時に黒色のような色彩は困難を伴います。また素材の温度が高く柔らかいので、非接触での対応が必要になります。
このような視認性の低いウェブ対象の連続検査を実現、高さ情報にて欠陥を検出します。

樹脂テープ材表面のロール・ツー・ロール検査

●非接触での平面度検査

一般的な平面度の計測では、接触子(スタイラス)を用いて対象ワーク上の1点を線上になぞるため、ワーク表面に跡が付く・接触子の頻繁なメンテナンスが必要・複数位置の計測に時間がかかる、等の問題があります。三次元計測装置SP3Dの応用により、非接触で表面の平面度の計測が可能です。

樹脂テープ材表面のロール・ツー・ロール検査

円盤形状ワークの計測例…複数位置の平面度を1回で測定

■ 用途

■ 検出原理

検出原理

特殊レーザーライン光を対象物に照射し、三次元カメラによる撮影から光切断方式で表面のわずかな凹凸を計測します。視野幅や高さ分解能は、構成する光源やレンズの組合せで決定され、ワークサイズと分解能に応じたシステムを構築します。またカメラによっては、三次元情報と共に従来の二次元情報も取得できるため、複合的な検査にも対応が可能です。

■ 仕様

仕様