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株式会社三ツワフロンテック
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MFW201601-04

分析前処理用エッチング装置 PERET(ピーレット)

分析前処理用、材料を選ばない
ハイレートナノオーダーエッチング装置

分析装置の利用範囲を広げる分析前処理用エッチング装置です。

本装置を使うことにより、既存の分析装置で、試料を切断せずに、精密な断面情報が得られるようになります。
これまでエッチングが困難だった試料や、変質が起こる試料であっても、超微粒子によるエッチングで分析可能になります。

■ 特徴


● 時間短縮でエッチング処理

エッチングの損傷や変質が極微小で速度が速い理由は、一個の粒子の 損傷や除去深さはナノメートルサイズであるが1秒間に100億個も衝突させる手法にあります。エッチング速度は対象材料によって変化しますが、約0.2〜1.0μm/minと、アルゴンエッチングの10〜100倍速いレートでエッチングできます。

● nm単位の分解能での作業が可能

最少エッチング深さ単位は、材料によって変化しますが、およそ10nmと高分解能が可能です。材料によるエッチング速度一覧表から近い材料を選択し、その速度を入力して、エッチング時間を入力することで、目的の深さまでエッチングをすることができます。

■ 事例

■樹脂:PMMA

アルゴンエッチングでは、C-C結合(284eV)に比べて、C-O結合(286eV)とC=O結合(289eV)の割合が小さくなっており、還元されていることが判ります。

樹脂:PMMA

■セラミック:AL2O3

サファイアなどは注意が必要となります。エロージョンエッチングではシフトしており、構造が変化していると想定されます。

セラミック:AL2O3
この技術は材料表面の強度を試験する技術にも組み込まれてます

MSE試験機は、今まで困難だった、『硬すぎる素材』、『柔らかすぎる素材』、『強さが変化する素材』の強度を、ナノレベルの深さ分解能で分布を数値化する画期的な試験機です。

【用途】
◆超硬質材料・薄膜   ◆深さ方向の劣化特性
◆超軟質材料・薄膜   ◆多層膜の膜毎の強さ
◆鉄鋼表面処理の硬さ  ◆傾斜材の強さ

MSE試験は材料表面の同一のポイントに一定量の粒子投射を行い、その摩耗した深さを計測します。このくり返しによって作成されたデータはある傾きを示すエロージョン進行グラフとなり、傾きがMSEエロージョン率をあらわしています。おもしろいのは、このエロージョン進行グラフからは材料表面強さだけではなく、ほかにもさまざまな事情が読み取ることができること。評価項目は多岐にわたります。