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レーザー式欠陥検出装置

目視・CCDで見えない欠陥を高速・高精度で検出!

半導体レーザーの特長を生かした検出原理、フライングスポット方式と独自の信号処理アルゴリズムにより、これまで画像処理装置では困難だとされていたムラや微小キズの検出を実現し、検査精度を高めます。

構成図
 
特長
◆驚きの高速・高精度検出
最大ライン速度は300mm/秒まで対応でき、最小10μmの欠陥検出が可能です。
 
◆広視野な検出範囲
1台の検査システムで、300mmの検査幅を最大27100画素の画像に展開します。
 
◆微妙な欠陥検出が可能
金属表面はもとより、樹脂フィルムやガラス素材の表面・内部やコーティング面から、セラミック・カーボンといった新機能性素材にわたり、従来のCCD用光源では検出が困難な欠陥もレーザー光では高コントラストに捉えることができ、独自の画像処理を通して欠陥を自動検出します。
 
 
アプリケーション例
円筒形ワーク検査   WEB検査   枚葉検査
円筒形ワーク検査 WEB検査 枚葉検査
 
微小キズやコーティングにおける
各種欠陥検出ができます。
  フィルムなど微小なキズやスジの
検出ができます。
  ガラス表面上の透明被膜の異物、
ピンホールが検出できます。
 
円筒金属表面のコーティング抜け   高機能フィルムの微小キズ   ガラス表面の異物
円筒金属表面のコーティング抜け   高機能フィルムの微小キズ   ガラス表面の異物
 
 
用途
分野 検査対象素材 素材形状 検査対象
FPD
(フラットパネルディスプレイ)
ガラス基板 枚葉 異物・傷・クラック・気泡・ピンホール
各種樹脂シート 枚葉/WEB 異物・傷・スジ・ピンホール
複写機・プリンタ ゴムローラ 円筒 異物・ムラ・スジ
金属ローラ 円筒 傷・汚れ・凹み・凸・スジ・シワ・折れ
樹脂コーティングローラ 円筒 傷・シミ・突起・ブツ
感光ドラム 円筒 異物・傷・ムラ・スジ・気泡
新エネルギー 二次電池 電極シート 枚葉/WEB 傷・スジ・ムラ
セパレータ WEB 異物・ピンホール
アルミセルケース 枚葉 傷・凹み・凸・汚れ
燃料電池 電極シート 枚葉/WEB 異物・凹凸・シワ・ダマ・スジ・折れ
セラックセパレータ 枚葉 異物・凹み・気泡・シミ・傷・変形・うねり・クラック・ピンホール
カーボン電極材 枚葉 黒色異物、スジ、ムラ、ダマ
光学部品 ARコートガラス 枚葉 異物・傷・ピンホール
鏡面金属ミラー 枚葉 傷・突起・付着異物
枚葉 傷・コート抜け
工業用素材/その他 シャフト/ロッド 円筒 傷・スジ・汚れ・打痕
グリーンシート 枚葉/WEB ピンホール・亀裂・スジ・白点・黒点
極薄鋼板 WEB 傷・打痕・緩やかな凹み
半導体ウエハ WEB マクロ検査全般
 
検出原理
 
検出方法     正常な場合 欠陥がある場合
     
正反射   正常な場合、投光器から出力されたレーザー光が対象物で反射し、受光器で検出します。
欠陥がある場合、レーザー光が欠陥により散乱して、受光器で検出するレーザー光が弱くなる事により、欠陥を検出します。
正反射 正常な場合 正反射 欠陥がある場合
         
乱反射   正常な場合、投光器から出力されたレーザー光は対象物で反射しますが、投光器には光ははいってきません。
欠陥がある場合、レーザー光が乱反射して受光器にレーザー光がはいってくる事により、欠陥を検出します
乱反射 正常な場合 乱反射 欠陥がある場合
       
透過   正常な場合、投光器から出力されたレーザー光は対象物を透過して受光器で検出します。
欠陥がある場合、レーザー光が欠陥により散乱して、受光器で検出するレーザー光が弱くなる事により、欠陥を検出します。
透過 正常な場合 透過 欠陥がある場合
 
仕様
 
基本ハードウェア
光源ユニット 半導体レーザーによるフライングスポット照射方式
レーザー光源 波長:660nm (赤色可視光)
ビーム径:40μm (焦点位置にて)
出力:5mW (レーザークラス3R)
検査仕様
検出方式 反射光・透過光を画像に展開、画像処理解析により結果判定
検査有効幅 最大300mm
最小検出能 10μm
搬送速度 最高300mm/秒   ※条件による
環境条件
温度/湿度範囲 使用時15〜35℃ / 35〜70%RH (結露なきこと)
電源定格 1φAC100V、1kW以下
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