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グローブボックス(真空式/パージ式)
ご要望に合わせた雰囲気コントロールが可能
水分・酸素量を1ppm以下にコントロール(ガス循環精製装置使用時)
 
ガス循環生成装置付グローブボックス
ガス循環精製装置付グローブボックス
 
・真空式グローブボックス
空気中では、不安定な固体、粉体、液体、放射性物質及びきわめて毒性の強い物質等の作業用として使用出来ます。
本装置内を真空ポンプで短時間に強制排気後、所要の不活性ガス(N2,Ar,He,ドライエアー等)を常圧まで封入し、手袋を介して作業を可能にします。物品の出し入れは、サイドボックスにて行います。ガス循環精製装置を組込む事により高純度の不活性ガス雰囲気を長期間維持することができます。

・パージ式グローブボックス
パージ式ガス置換型で、サイドボックスのみ真空引ガス置換構造としたグローブボックスです。本体内を所要の不活性ガス(N2,Ar,He,ドライエアー等)でパージ封入し、グローブを介して作業を可能にします。物品の出し入れは、サイドボックスにて行います。又、ガス循環精製装置を、組み込むことにより高純度の不活性ガス雰囲気を長期間維持することができます。
 
真空式グローブボックスの特長
本体及びサイドボックスが真空排気できるのでガス置換が早く信頼性も高い。

覗窓が大きく、簡単に着脱ができ、品物が窓より持ち込めます。

本体内側サイドボックスの扉は引き戸開閉式で、グローブボックスの内部が有効に利用できます。

サイドボックスにスライドテーブルが設けられ、品物の出し入れが容易です。

本体ボックス内部の圧力は、自動内圧調整器(オプション)で常に一定に保たれます。

特殊型グローブポート(特許出願中)を使用することにより
  破損した手袋の交換がグローブボックス内の雰囲気をこわさずに交換できます。(オプション)
 
パージ式グローブボックスの特長
本体のガスパージ置換が早く行えるように、グローブボックス内に置換(循環)用配管があります。

覗窓が大きく、大きな品物が窓より持ち込めます。

本体内側サイドボックスの扉は、引き戸式の開閉で、グローブボックス内部が有効に利用できます。

サイドボックスにスライドテーブルが設けられ、品物の出し入れが容易です。

本体ボックス内圧力は、自動内圧調整器(オプション)で常に一定に保たれます。

グローブに良質のブチル製を使用しているので、水分及び酸素の透過を少なくできます。
 
システム装置具体例
真空蒸着装置、スパッタ装置、スピンコータ装置、スプレー装置、CVD装置、UV照射ユニット、プレス機器、TIG溶接、除振台、高周波誘導加熱装置、アドマイズ装置、溶媒精製装置、ディスペンサー、ラミネート装置、製薬用ドライヤー装置、定温コントロール
 
豊富なオプション
・N2除去装置
・電流導入端子
・電気炉
・BOX内部冷凍庫
・除振台
・顕微鏡
・Tig溶接機
・有機溶媒精製装置
・ガラス基板貼り合わせ装置
・蒸着装置
・ディペンス装置

その他、ご要望により各種製作致します。
特殊グローブボックス
特殊グローブボックス
 
 
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