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有機EL不良解析装置EX-02
特殊光学系の採用により、大画面を高速で測定できます
 
有機EL不良解析装置EX-02  
有機EL素子の潜在的なリーク箇所を特定!
 

有機ELの不良素子は初期状態では一般的には判別不能であり、点灯時間の経過と共に不良画素となります。

これは潜在欠陥として生産時の検査で判別しなければならない重要な課題でありながら、その解決に必要な故障解析はまだ確立されていません。

本装置は微弱発光を検出して、有機EL素子にダメージを与えることなく潜在的なリーク箇所を特定できます。開発段階においても製造段階においても適用可能で、有機EL製品の信頼性を評価することが出来る装置です。

 
特長
不良箇所をピンポイントで特定できます
 
実像との重ねあわせによるリーク不良点の位置関係が判別可能です。また、X-Yステージにより不良箇所の位置座標を特定できます。  
   
潜在的不良箇所の判別が可能
   
レーザーによる修復が可能
 
同軸に設けられたレーザーにより、リペアないし不良部のIDが可能。  
   
有機EL発光開始電圧付近での輝度むらが測定可能
 
測定原理
微弱発光解析法を用い、有機ELの潜在欠陥箇所を素子にダメージを与えることなく特定します。
I-V特性
順方向デバイス
逆方向デバイス
 
測定例
潜在的な不良箇所による電流リークが原因で発光(赤丸)が見えます。
この箇所は初期状態では判別不能であり、点灯時間の経過と共に画素欠陥となります。
素子表面像 発光像 表面像+リーク発光像
 
用途
 
○電流リーク、ムラ観察 プロセス評価、品質・信頼性
○I-V特性に現れないリーク不良検出 プロセス評価、品質
○信頼性・エージング条件の設定 プロセスパラメータの設定
○リペア条件の設定 プロセスパラメータの設定
 
構成図
構成図
 
 
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