電子線応用装置を磁場変動から守ります

この製品へのお問い合わせ

  • アクティブ磁場キャンセラー

電子顕微鏡の像の乱れ、磁場の影響かもしれません

電子顕微鏡を移設された際に、像が乱れる症状がありませんか?
観察画像の乱れの要因として、変動磁場が影響しているかもしれません。
環境中の変動磁場に、補正磁場を発生させることで、観察画像の改善が期待できます!

製品情報

仕様

 

実測データ

 

 

用途

・走査型電子顕微鏡(SEM)
・透過型電子顕微鏡(TEM)
・集束イオンビーム(FIB)
・質量分析装置(MS)
・電子ビーム描画装置(EBL),etc.

 

原理

電車、自動車、エレベータなどの磁性体の通過や電源などが原因である磁場変動は、電子顕微鏡のような電子ビーム応用装置などに悪影響を及ぼします。
本装置は、任意方向の磁場変動を高感度磁場センサ及びデジタルコントローラで検出し、ヘルムホルツコイルを用いて逆位相の磁場を発生させることで磁場変動を抑制するシステムです。

 

特長

●高性能……最大40~60dBの優れた減衰性能
●低コスト……シールドによる磁場対策に比べ約1/10のコストを実現
●簡単施工……装置周辺にコイルを固定するだけの簡単施工