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株式会社三ツワフロンテック
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MFW201603-07

ナノ粒子形成装置 APD

簡単にナノ粒子を形成!

パルス放電を利用したナノ粒子製造装置です



- パルス放電によるナノ粒子製造の特長 -

■ 粒子形成例

■ Au/グラッシカーボンの薄膜成長過程

粒子形成例:Au/グラッシカーボンの薄膜成長過程

国立研究開発法人 産業技術総合研究所 関西センタ− 茶谷原 昭義様ご提供

■カーボンパウダ(ケッチェンブラック)上の白金ナノ粒子のTEM像

粒径サイズ:約2.5nm

粒子形成例:カーボンパウダ(ケッチェンブラック)上の白金ナノ粒子のTEM像

■ 成膜例

■ 鉄とカーボンの多層膜

ナノメータの薄膜をパルス(デジタルに)で制御して形成できる。
TEM写真から  1)鉄の各層の膜厚は均等  2)膜圧は非常に平坦  3)鉄とカーボンの界面がクリア

成膜例:鉄とカーボンの多層膜

■ 原理

導電性材料のターゲットをセットし、パルスのアーク放電を発生させると、アノード先端より、材料がプラズマとなり噴出されます。それが、粒子や基材に当たり、担持や成膜が可能になります。また、消費電力が少ないことで、基板の温度上昇がほとんど無く、樹脂やフィルムにも蒸着することが可能です。

原理

■ ターゲット使用実績表

ターゲット使用実績表

■ 応用例

受託サンプリングも承ります!お気軽にお問い合わせ下さい。